洁净室内的噪声级（空态），非单向流洁净室不应大于60dB（A），单向流、混合流洁净室不应大于65dB（A）。

洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；

洁净厂房的平、剖面设计应考虑噪声控制要求。洁净室的围护结构应具有良好的隔声性能，并使各部分隔声量相接近。

洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。

净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。洁净室内的排风系统除事故排风外应进行减噪设计。

净化空调系统，根据室内容许噪声级要求，风管内风速宜按下列规定选用。

1 总风管为6～10m/s。

2 无送、回风口的支风管为4～6m/s。

3 有送、回风口的支风管为2～5m/s。

洁净工作区 clean working area

指洁净室内离地面高度0.8～1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。

空气吹淋室 air shower

利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。

气闸室 air lock

设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。

传递窗 pass box

在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧装有不能同时开启的窗扇。

洁净工作台 clean bench

能够保持操作空间所需洁净度的工作台。

洁净工作服 clean working garment

为把工作人员产生的粒子限制在最xiao程度所使用的发尘量少的洁净服装。

空态 as-built

设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

静态 at-rest

设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

动态 operational

设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。

检漏试验 leakage test

检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等的密封性试验。

高xiao空气过滤器 HEPA（high efficiency particulate airfilter）

在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。

超高xiao空气过滤器 ULPA（ultra low penetration airfilter）

在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.9***以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。

纯水 purity water

对电解质杂质含量（常以电阻率表征）和非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均有要求的水。

防静电环境 ESD controlled environment

能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。

       富洁净化  FFU英文全称为（Fan Filter Unit），中文为风机过滤机组。 FFU风机滤网机组可模块化连接使用，使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。FFU设有初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。适用于在各种环境中获得***别的洁净环境。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。经过实地检测，***普遍难以适应“中国环境因素”，质量虽然普遍高于国产公司，但1年后的稳定性测试普遍不理想；大部分国内低端品牌的工程***多只能算是差强人意。近年，净化工程行业开始注重产品质量与稳定性的双向验收标准。